ASML đang cân nhắc việc phát hành một phiên bản đặc biệt của công cụ in khắc tia cực tím sâu (DUV) sẽ tuân thủ các quy tắc xuất khẩu mới nhất của Hoa Kỳ và có thể được chuyển đến khách hàng Trung Quốc mà không cần giấy phép, DigiTimes đưa tin. Thiết bị này sẽ cho phép các công ty như SMIC và Hua Hong sản xuất chip trên các nút loại 28nm và dày hơn, nhưng nó sẽ không cho phép họ sử dụng các nút cao cấp hơn.
Công cụ in thạch bản được đề cập là Twinscan NXT:1980Di, và hiện tại đây là máy quét ngâm kém tiên tiến nhất mà TSMC vẫn sản xuất. Máy có quang học khẩu độ số 1,35 và có khả năng phân giải <38 nm, đủ cho các nút loại 7nm và thậm chí cao cấp hơn. Trên thực tế, máy quét này — được phát hành lần đầu vào năm 2016 — được TSMC sử dụng để phát triển công nghệ xử lý lớp 7nm của mình.
Việc cắt giảm thiết bị này và tăng độ phân giải được hỗ trợ tối thiểu của nó để ngăn SMIC và các nhà sản xuất chip khác của Trung Quốc tạo ra công nghệ xử lý dưới 28nm về mặt lý thuyết là có thể. Hãy nhớ rằng phần lớn doanh thu của SMIC đến từ các nút sản xuất dày hơn 28nm, có khả năng các công ty Trung Quốc vẫn quan tâm đến việc mua sắm các công cụ như vậy.
Các quy định xuất khẩu mới nhất bắt buộc các công ty và cá nhân Mỹ phải có giấy phép xuất khẩu các công cụ và công nghệ có khả năng sản xuất chip logic với các bóng bán dẫn không phẳng trên các nút 14nm/16nm trở xuống, 3D NAND với 128 lớp trở lên và chip bộ nhớ DRAM có kích thước 18nm. -pitch hoặc ít hơn. Các quy tắc tương tự áp dụng cho các công ty không phải của Mỹ xuất khẩu linh kiện từ Mỹ, đó là trường hợp của ASML và Twinscan NXT:1980Di.
Các quy tắc xuất khẩu mới nhất của Hà Lan yêu cầu ASML phải có giấy phép xuất khẩu để bán máy quét Twinscan NXT:2000i của mình cho các công ty Trung Quốc. ASML chưa chính thức tạo ra một phiên bản giới hạn của Twinscan NXT, nhưng nếu các quy định xuất khẩu tiếp tục hạn chế việc bán các công nghệ tiên tiến cho Trung Quốc, thì một động thái như vậy có vẻ sẽ xảy ra.
